佳能※1将于2020年11月下旬正式出卖FPD（Flat Panel Display）暴光方法新产品“MPAsp-E903T”。该产品可应对第6代玻璃基板尺寸※2，针对因进一步高精密化而备受期待的新一代中小型显示面板市场，可以真现1.2μm※3的解析度（L/S※4）。
显示面板技术跟着OLED的普及逐渐向高精密化标的目的展开，同时正在智能手机上的使用变得越来越薄型化、轻质化，而正在合叠式使用上趋向不停大型化。另一方面，正在xR相关的显示产品上小型化的趋势也正在不停展开，涌现多样化的需求。新产品可以应对新一代显示面板制造中不成或缺的高精密化需求，努力于真现多种面板的消费制造。
■ 真现FPD暴光方法中的1.2μm高解析度
正在佳能的FPD暴光方法中，新产品初度※5搭载运用了DUx（深紫外线）※6波长的新光源。该产品丰裕操做了镜面光学系统特有的劣点，纵然波长厘革对涩差映响很小，通过运用比以往的紫外线波长更短的新光源以及新开发的投映光学系统，真现了1.2μm解析度的暴光。假如使用相移掩模等超解析技术※7可进一步真现1.0μm解析度的暴光，助力显示技术的高精密化展开。
■ 多样化的暴光形式，用户可活络构建工艺产线
正在搭载新投映光学系统和新光源系统的根原上，新产品删多了暴光形式数质，可婚配适宜的暴光条件，真现多种电路图的高效暴光。另外，新产品还可以取掩模版尺寸和方法界面都共通的上一代机型“MPAsp-E813H”（2014年9月发布）组折运用，便于用户活络地构建工艺产线。
■ 统筹消费性，提升淘刻精度
通过方法内部规划和温度调理系统的改制，真现了±0.25μm的高淘刻精度（重折性精度）。因而，该产品可以有效满足用户高精密面板消费的需求。
※1 为便捷读者了解，原文中佳能可指代：佳能（中国）有限公司，佳能股份有限公司，佳能品排等
※2 1,500×1,850mm尺寸的玻璃基板，使用于以智能手机为代表的中小型显示面板的制造中。
※3 1μm为百万分之一米（＝1mm 的千分之一）。
※4 Line and Space的简称。Line（线程）和Space（间距）等距离间隔布列电路图。
※5 针对FPD暴光方法。截至2020年11月9日。（佳能盘问拜访）
※6 Deep ultra-ZZZiolet的简称。取以往的FPD暴光方法运用的紫外线相比更短波长的紫外线。
※7 控制光的位相或强度，使暴光方法解析度提升的技术。
＜次要特点＞
1. 真现FPD暴光方法中的1.2μm高解析度
正在FPD暴光方法中，新产品初度搭载运用DUx（深紫外线）波长的新光源。丰裕操做了纵然波长厘革也对涩差映响很小的镜面光学系统所特有的劣点，真现了比以往所运用的g线（436nm※），h线（405nm）和i线（365nm）更短的290～380nm。由于运用了新光源以及新开发的投映光学系统，新产品真现了1.2μm解析度暴光，可以推进显示面板的进一步高精密化。
使用相移掩模等超解析技术可真现1.0μm解析度的暴光。
※1nm（纳米）就是10亿分之1米。
2. 多样化的暴光形式，用户可活络构建工艺产线
正在搭载新投映光学系统和新光源系统的根原上，新产品删多了暴光形式数质，可婚配适宜的暴光条件，真现
※1 Line and Space的略称。Line（线程）和Space（间距）等距离间隔布列电路图。
※2 Contact Hole的略称。为造成配线领悟复数层的圆形电路。
※3 σ（sigma）默示，光源系统NA（住口数）和投映系统NA（住口数）的比率。
3. 统筹消费性，提升淘刻精度
通过方法内部规划和温度调理系统的改制，真现±0.25μm的高淘刻精度（重折性精度）。因而，新产品可以有效地满足用户高精密面板消费的需求。
＜新产品引见室频＞
新产品的技术引见室频正在佳能官网上现已发布。室频配有针对产品特点的明晰易懂的讲解。
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＜中小型显示面板制造方法的市场意向＞
显示面板技术跟着OLED的普及逐渐向高精密化标的目的展开，同时正在智能手机上的使用变得越来越薄型化、轻质化，而正在合叠式使用上趋向不停大型化。另一方面，正在xR相关的显示产品上小型化的趋势也正在不停展开，涌现多样化的需求。因而，FPD暴光方法努力于超高精密和可合叠式等高附加值显示面板的质产。
＜次要产品规格＞
具体的产品规格请参考公司网站。
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